通過測量金屬被測體與探頭端面的相對位置,電渦流傳感器感應(yīng)并處理成相應(yīng)的電信號輸出。傳感器可長期可靠工作、靈敏度高、抗干擾能力強、非接觸測量、響應(yīng)速度快不受油水等介質(zhì)的影響,在大型旋轉(zhuǎn)機械的軸位移、軸振動、軸轉(zhuǎn)速等參數(shù)進行長期實時監(jiān)測中被廣泛應(yīng)用,并且被擴展到衛(wèi)星發(fā)射、材料鑒定、稱重測量、金屬板厚測量、材料形變測量等應(yīng)用領(lǐng)域。
一體化電渦流傳感器的優(yōu)點:
1、渦流傳感器是一種非接觸的線性化計量工具,能靜態(tài)和動態(tài)地非接觸、高線性度、高分辨力地測量被測金屬導(dǎo)體距探頭表面的距離。電渦流傳感器在測量過程中測量準(zhǔn)確性會受到一定的影響。
2、傳感器特性與被測體的電導(dǎo)率時,由于渦流效應(yīng)和磁效應(yīng)同時存在,磁效應(yīng)反作用于渦流效應(yīng),使得渦流效應(yīng)減弱,即傳感器的靈敏度降低。而當(dāng)被測體為弱導(dǎo)磁材料(如銅,鋁,合金鋼等)時,由于磁效應(yīng)弱,相對來說渦流效應(yīng)要強,因此傳感器感應(yīng)靈敏度要高。
3、不規(guī)則的被測體表面,會給實際的測量帶來附加誤差,因此對被測體表面應(yīng)該平整光滑,不應(yīng)存在凸起、洞眼、刻痕、凹槽等缺陷。一般要求,對于振動測量的被測表面粗糙度要求在0.4um~0.8um之間;對于位移測量被測表面粗糙度要求在0.4um~1.6um之間。
4、電渦流效應(yīng)主要集中在被測體表面,如果由于加工過程中形成殘磁效應(yīng),以及淬火不均勻、硬度不均勻、金相組織不均勻、結(jié)晶結(jié)構(gòu)不均勻等都會影響傳感器特性。在進行振動測量時,如果被測體表面殘磁效應(yīng)過大,會出現(xiàn)測量波形發(fā)生畸變。
電渦流傳感器具有很高的精度,甚至可以被用于微米級別的測量任務(wù)。目前,該系列傳感器被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)設(shè)備,航天,發(fā)電輪機,造船,鐵路,汽車檢測和機床行業(yè)。
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